SRM 606 玄武巖玻璃中的微量元素（美國NIST）的使用說明

       SRM 606旨在促進(jìn)天然鐵鎂質(zhì)硅酸鹽玻璃中微量元素的化學(xué)分析方法的開發(fā)，該方法用于激光燒蝕電感耦合等離子體質(zhì)譜法（LA-ICP-MS）和微束X射線熒光法（μXRF）等測(cè)量技術(shù)。在為內(nèi)部控制材料賦值時(shí)，此SRM也可用于質(zhì)量保證。SRM 606的一個(gè)單元由一塊安裝在環(huán)氧樹脂中的玄武巖玻璃組成。環(huán)氧樹脂安裝材料具有大約14毫米高和12.5毫米直徑的圓柱形。

品牌：NIST標(biāo)準(zhǔn)品

SRM Number（貨號(hào)）：SRM 606

Description：Trace Elements in Basalt Glass

描述：玄武巖玻璃中的微量元素

Unit of Issue（產(chǎn)品規(guī)格）：glass mounted in epoxy

SRM 606 玄武巖玻璃中的微量元素（美國NIST）的使用說明

       使用前應(yīng)清潔每個(gè)晶圓表面。要準(zhǔn)備用于分析的晶片，請(qǐng)用乙醇將其擦拭干凈，然后在稀釋（1:10）的HNO3中進(jìn)行溫和的表面清潔（非蝕刻）。材料應(yīng)儲(chǔ)存在原始容器中，并放置在陰涼干燥的地方。要在比較和計(jì)算中使用本證書中給出的不確定性區(qū)間，用戶必須意識(shí)到區(qū)間與zhiding值不對(duì)稱。間隔的使用取決于上下文，下面是兩種常見用法的說明。與用戶確定結(jié)果的直接比較：在這種情況下，直接將用戶為其結(jié)果計(jì)算的覆蓋間隔與此證書中提供的適當(dāng)覆蓋間隔進(jìn)行比較。

      SRM 606第3頁，共4頁使用SRM 606作為校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)時(shí)的不確定性傳播：當(dāng)本證書中提供的值用于校準(zhǔn)測(cè)量過程時(shí)，與該值相關(guān)的不確定性應(yīng)適當(dāng)傳播到用戶的不確定性計(jì)算中。表1和表2中的不對(duì)稱區(qū)間不能解釋為（值±kuc），其中k是一個(gè)擴(kuò)展因子，uc是代表該值周圍區(qū)間兩側(cè)的組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度。用戶可以使用蒙特卡羅方法來傳播概率分布。這可以使用NIST不確定度儀來完成。

部分NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)產(chǎn)品目錄（僅列舉小部分）：